第0573章 獲批

來到滬上微電科的辦公室，已經有十幾個人等在那邊了，他們分別來自華科院光電所，華科院電工所以及長光所，而今天這支院士隊伍，是由華科院院長親自帶隊的。

“孟總，關於下一代光刻機研發的評估工作已經結束了。”

“辛苦大家了，不知道結論如何？”

“孟總說的沒錯，下一代光刻機的研發價值和研發難度，都不亞於航母。”

孟謙不自主的點頭，“整個光刻機項目越推進問題越多，下一代光刻機的研發難度也在一次次刷新我們的認知。

據我們了解，包括蔡司，Cymer在內的一批全球頂尖企業同樣都遇到了困難，蔡司已經放棄了連續三年的研發方向準備做調整，下一代光刻機的研發注定是一場惡戰。

沒有改變的是下一代光刻機的核心技術依然是光源，鏡頭以及精密儀器，只不過這一次我們需要的是全球頂級的相關技術。”

路院長把一份文件放在了孟謙的面前，露出了慈祥的微笑，“孟總看看吧，這是我們的草案。”

這份草案是在大風集團提交的草案基礎上進行的修改，而大風集團之前提交的草案內容是以光刻機為核心項目，加速杭城信息物理國家實驗室的正式批準成立，以光刻機為軸心，拉動一場大範圍的科技發展。

之前說過，國家實驗室的意義極為重大，雖然孟謙之前給領導們看了公司的未來實驗室，雖然目標直指第四次工業革命，但目前還是願景大於現實，國家實驗室需要一些真正客觀存在且可以立項的大項目。

所以孟謙找出了這麽一個項目，那就是下一代光刻機。

光刻機這個項目非常符合上面的胃口，因為它有三大特征，項目難度達到了世界頂級水平，光刻機的發展可以拉動材料科學，精密機械等多個重要學科的發展，光刻機本身對於更重要的芯片發展有著關鍵價值。

而且因為這一國家實驗室是依托大風集團這家私企的，航母更大程度上拉動的是國企的科技發展，而杭城信息物理國家實驗室正好可以更大程度的拉動私企的科技發展，兩邊同時發力，完美。

從大風集團遞交的草案可以看到，關於光刻機的制造，大風集團已經召集了包括聚光科技，滬上儀電，萊伯泰科等八十多家精密儀器，光源，鏡頭等領域的國內企業，這個項目必將直接影響到國內一批企業的科技發展。

再加上大風集團本身作為私企，光刻機本身又是大風集團的一個商業產品，在可控程度上還能拉攏外部資源，比如同樣在草案上寫著的還有大風集團尋找的海外合作單位，光是一個霓虹國，就有包括日立，霓虹國山崎馬紮克，霓虹國捷太科特，霓虹國美德龍等十多家霓虹國相關頂尖企業。

大風集團通過自己的技術和市場換取了相應的合作，或是純制造，或是技術支持，為光刻機項目提供了有力的場外援助。

一旦光刻機項目成功拉動了國內相關的技術水平，之後就能更進一步的去發展第四次工業革命相關的技術了，所以以下一代光刻機作為杭城信息物理國家實驗室的核心啟動項目，具備著各項合適的因素。

而在修改後的草案中，主要是明確一下權利義務以及國家科研機構所扮演的角色，比如華科院這邊會大力支持這個項目，但是來的團隊算大風集團員工麽？他們的工資怎麽算，職責怎麽算？

最後采取的是項目制，杭城信息物理國家實驗室出項目，然後拿著項目去國家科研機構邀約團隊，最後根據項目出團隊，確定的團隊華科院會發一筆工資，國家實驗室這邊會發一筆工資，但人還是屬於華科院的。

然後就是保密工作，畢竟是國家實驗室，對保密工作的要求是極高的，尤其大風集團還是家私企，還要跟外企合作，對於保密工作的要求就更高了，某種程度上也是一種限制，但是沒辦法，孟謙也能理解。

至於國家實驗室的技術產出，作為商業產品，產品的商業利潤屬於大風集團，但項目技術自然是歸大風集團和國家共有的。

很認真的看完了草案，孟謙沒有什麽太大的意見，基本上是認同的，畢竟孟謙本並沒有什麽叛國之心。

方案這邊沒問題，路院長開始給孟謙介紹今天帶來的幾個人，“這三位分別是胡嵩，賀曉東，羅顯剛，來自我們華科院的光電所”

孟謙並不知道的是，這幾位就是在曾經一世負責超分辨光刻裝備項目的核心技術人才，超分辨光刻機裝備是由華科院光電所團隊耗時7年完成，在國外技術和材料壟斷的前提下實現的全自助研發光刻設備。

這一設備突破了高均勻性照明，超分辨光刻機鏡頭，納米級分辨力檢焦以及間隙測量和超精密多自由度工作台等關鍵技術，是全球分辨力最高的紫外光超分辨光刻設備，單次曝光最高線寬分辨力達到22納米。