第0089章 光刻機

1點57分，孟謙在工廠門口等到了何文康，跟著何文康一起過來的還有一個是他的男秘書蔡元。

簡單打了個招呼就一起進廠，在門口的時候孟謙跟張國強相視一笑，兩人並沒有打招呼。

“孟總，知道我為什麽要帶你來工廠麽？”走進工廠後何文康問道。

孟謙搖了搖頭，他確實不知道。

“你不知道就對了，我也不知道。”何文康沖著孟謙一笑，笑的孟謙莫名其妙。

整個工廠有五個廠房，一個食堂，一個宿舍，還有一個運動區。

何文康帶著來到了最正中間的廠房，一進門就可以看到兩邊擺滿的設備和地上密布的電纜。

而最顯眼的，就是進門右手邊的一台半暴露的“龐然大物”。

何文康帶著孟謙走向了那台設備，廠裏的幾名員工紛紛跟何文康打招呼，同時打量了一下孟謙，畢竟他最近老出現在工廠門口，有人也問過張國強他是誰，張國強只道是個來了解情況的，沒有細說。

“知道這是什麽吧？”何文康駐足盯著設備看了一會兒後轉過頭問孟謙道。

“光刻機。”孟謙有些低沉的回應了一句，同樣駐足盯著光刻機，一種奇怪的情緒湧上心頭，光刻機，多少華夏人心頭的痛啊……

何文康微微側頭觀察著孟謙的表情，然而孟謙表現在臉上的情緒讓他突然懵逼了，怎麽感覺看出了一種……殺父之仇的感覺？

“孟總知道這些東西都是幹嘛的嘛？”搞不懂孟謙的何文康用手對著光刻機畫了個圈問道。

“大概了解，但不詳細。”孟謙向前了兩步想看的更清楚。

“那我簡單跟孟總介紹一下吧”何文康同樣上前兩步先指了指設備最邊上的一個橢圓形的東西，“這是激光器，邊上這個是能量控制器，下面是光束矯正器，就這三個東西控制著光源的第一步輸入，這一環節最重要的，是穩定。

但就是一個穩定，我們華夏這麽多年就是控制不好，孟總知道為什麽麽？”

孟謙搖了搖頭。

“那孟總知道這麽一台光刻機一天的耗電量麽？”

孟謙再次搖了搖頭。

何文康看了一眼激光器道，“一萬度電起步。”

孟謙稍驚了一下，他後世確實沒了解的這麽細，這一世又一直在了解更上遊的東西，“是因為能量轉換率的問題吧？”

“是的。”何文康沖著孟謙點了點頭，“光刻機的能量轉換率平均值還不到千分之一。

所以如何保證一個長時間內持續穩定的高功率輸出，這是光源輸入的第一個穩，第二個穩在於，如何提升能量穩定以提升良品率，要知道，最終的能量一旦出現一點極小的誤差，都會影響到良品率，最後一個穩，也是最基本的穩，如何通過設備穩定來降低用電量。

一個表現優異的激光器和能量轉換器，它會影響企業的電力成本以及產品的良品率。”

“一個擁有三四台光刻機的晶圓廠，每年光電費就要上千萬……”孟謙下意識的接了一句。

“目前市面上設備的優劣可以帶來的用電差距，高達兩倍。”何文康往右邊走了幾步，“從能量控制器出來的能量會進入光束形狀設置裝置，不同的光束會帶來不同的光學效果。

再過去就是能量探測器了，剛才我也說了，能量的誤差會直接影響到良品率，所以這裏算是對能量的二次確認，能量探測器下面那個東西叫掩模版，這東西本質上就是一個刻著芯片線路的玻璃，類似於相機的底片。

但就這麽一塊破玻璃，孟總猜猜看多少錢？”

孟謙想了想道，“何總直接說答案吧。”

何文康淡淡一笑，“一塊破玻璃，一百萬。”

說完，何文康示意孟謙向右走兩步，“掩模版下面這一塊就是最重要的東西了，物鏡，孟總可以數一數，這裏總共有20多塊鏡片，通過這20多塊鏡片，將掩膜版上的電路圖按比例縮小，再被激光映射到矽片上，同時物鏡還要補償各種光學誤差。

這個東西，孟總也很清楚，咱們搞不定。

下面這兩個平台是測量台和曝光台，正常流程，先測量，再曝光，整個測量台的精度是納米級的，差1納米都不行，我們用的自動調焦系統，是米國人設計的。

好了，這就是一台從表面上能看到的光刻機，但技術卻不僅只是這些，就比如看到這裏的傳輸帶了麽，這是傳輸系統，同樣是納米級的，而且加速系統是航空水平，整個光刻機還需要減震系統，環境控制系統，整機控制系統，自動化操作系統等等。

這就是光刻機，一個把它模塊化之後，每一個模塊的難度都是一個縮小版光刻機的東西。”

何文康突然有點自言自語的感覺，也不知道這話到底是說給孟謙聽的還是說給自己聽的。