第78章 山巍[10] 樣機發布。

體諒陳驚璆知道了真相對他心靈造成的巨大沖擊,盛明安最近表現得一直很關懷他，縱容程度令熟識的人一再側目。

陳驚璆語氣喪喪地說他新買的別墅太空曠，希望有人住進去,可以熱鬧一點,順理成章邀請到盛明安在他別墅裏住到開學。

反倒是盛外公的家,只有周六日才回去一趟。

好在盛外公也有了自己豐富的晚年生活，每天參加各種老年人俱樂部，基本三餐不著家,別提有多快樂了。

至於盛氏企業，在度過芯片斷供的危機後，盛外公便逐漸撇下事務，權柄逐漸轉交給信任的下屬，等下屬能夠獨當一面，就是他退休的時候。

盛外公也想過將公司交給盛明安，想當然了,盛明安拒絕，外公就給他建了個人基金，以後每年拿分紅就夠了。

陳天鶴養了一幫律師團,這群人挺能幹的，很快就撈出陳青琉,趕緊推他上騰輝集團領導位置並與陳天鶴本人割裂。

不過騰輝集團受創嚴重,產業大幅縮水,只能勉強保住一點根基,再加上陳青琉是個草包，騰輝集團能不能再創輝煌還是個未知數。

陳天鶴犯罪嚴重，量刑較大，被判無期徒刑。

酈裕華那位香港議員丈夫和女兒不服判決,正準備上訴，要陳天鶴死刑才甘心。

陳天鶴被判刑後，數次托人找陳驚璆，還做著父子相認、兄弟齊心的美夢，陳驚璆不堪煩擾，後來幹脆不外出，要麽躲在藍河科技實驗室，要麽回到安保性能強悍的別墅，總之就是陌生人不能靠近的地方。

時間久了，陳天鶴那邊只好放棄再騷擾陳驚璆。

九月底，科大已經開學一個月，作為研究生的陳驚璆和盛明安因領了研發euv樣機的任務，因此還逗留在津市。

此時，藍河科技實驗室。

十幾個穿著白色防護服的人站在一台重約180噸、散發著淡淡的銀白色光芒的大機器前，準備euv樣機的第一次激光雕刻試驗。

站在最前排的三人分別是盛明安、陳驚璆和微電子科技的程院長，後面一排則是雷客、杜頌和林成建，以及慕名而來的曹書記。

盛明安擡手比了一個手勢，身後眾人如遇到障礙物的魚群般迅速散開，魚貫而入，立在各自的操控崗位上監測數據。

與此同時，落地津市的華電科、華芯、紫光、華興等半導體行業龍頭的高層不約而同聚集在會議室內，每個人前面的電腦都放置著藍河科技的股盤走勢行情。

他們緊盯著手機，準備第一時間接收信息。

“怎麽樣？藍河科技傳出消息了沒？”

“還沒有。”

“唉！繼續盯著，務必第一時間拿到消息。希望樣機驗收成功。”

類似的情形和對話分別在歐美、日韓等國的半導體龍頭企業內部發生，他們也正在焦急等待海外華國一個規模不大卻令人不敢小覷的科技公司的最新消息。

不過他們和國內企業家的願望不同，他們在內心裏不斷發出惡狠狠的詛咒，尤其歐美國家詛咒最美，但願藍河科技的實驗結果慘遭滑鐵盧！

最好一直滑鐵盧，永遠不會成功！

很可惜他們注定會失望。

藍河科技內，隨著盛明安手勢的指揮，矗立眾人跟前的那台光刻機樣機在漫長的一小時內完成了它的第一次驗收。

樣機看不見的內部，無數比頭發絲還細的激光穿過幾十個精密鏡頭後，準確擊中錫液滴靶，四處分散的等離子體被收集，將掩膜版上的圖形信息透過縮圖透鏡完完整整復刻到下面的晶圓，曝光晶圓。

一個小時後，各小組匯報結果。

“完成光刻試驗任務，沒有異常。”

“一小時內成功曝光160片晶圓，比目前已知的asml euv nex3400b機型每小時曝光125片晶圓吞吐量多達35片！套刻誤差不超過2nm！”

“數據已全部記錄，根據數據計算顯示，可以在原樣機的基礎上將效率提高至少18%，套刻誤差提高到2nm以下。”

“一片晶圓可得芯片數量等於晶圓面積/芯片面積晶圓直徑/芯片對角線長，照該公式計算我們目前使用的12英寸晶圓一片可得到的芯片數量，不過最後可用的芯片數目得等到封測完畢才能知道最終的晶圓良率。”

經過光刻機曝光後的一大塊晶圓還需要封裝成一個完整的顆粒，再進行切割，最後測試。通過測試選出性能穩定、完好、容量足的芯片，剩下不合格的部分就會被當成廢品處理。

穩定的芯片和不合格的芯片對比得出的數據稱為晶圓良率，總良率超過90%才算可盈利的商品。

而晶圓制作過程歷經三百多個步驟，其中隨便哪個步驟出現差錯就能導致整片晶圓損毀或拉低良率。

一粒肉眼看不見的灰塵掉進正在制作中的晶圓，它就會立即報廢，所以光刻過程必須保證在恒溫、無塵車間內工作。