第69章 山巍[01] 13.5nm工藝制程。（第3/4頁）

行吧。盛明安點點頭，示意身後研發團隊各就各位，緊盯前方全套的光源系統設備，沉著冷靜的說：“開始驗收。準備——”

“已啟動數據記錄，光源驗收記錄，功率消耗記錄。”

“靶材裝置確定裝載完畢。”

“電源確定。”

“三萬瓦二氧化碳脈沖激光器進入預熱狀態。”

“……”

接二連三的報告在空曠蒼白寂靜的實驗室中此起彼伏，每一句報告簡短有力，錯落有序，整潔飛快，無端感染在場其他等待驗收成果的研發團隊成員緊張期待的心情。

“啟動二氧化碳脈沖激光器！”

話音一落，盛明安按下開關按鈕，眾人擡頭看向前方恒溫無塵實驗室內的光源系統設備，一塵不染的銀白色設備在冷光下散發出奇妙無機質的機械美。

機械表面很平靜，盛明安等人看不到內部正在發生的變化，他們只能通過最終結果判斷是否成功，而過程很短暫、很快速，快到頻率一秒五萬次！

盛明安的黑科技系統可以窺探機械內部的變化，它切換視角幫助盛明安進入光源系統設備內部查看實驗。

視角先是銀白色的機械，瞬間穿入內部復雜得宛如一個巨大的機械加工廠的設備，時間和空間被虛化，內部一片黑暗，若鴻蒙未開的混沌宇宙。

突然前方一個閃亮的光點，先是四條頭發絲大小的曲線包圍成一個圓圈，圓圈中心一點亮光逐漸向外擴張，由圓點擴張成橢圓形，光越來越盛、越來越亮，猛然爆發出閃亮耀眼的白光，瞬間照亮黑暗的內部，一條細長發亮的紫光倏然躥出發光口，通過圓形長管，進入光束矯正器，通過能量轉換器……

最終擊中直徑30μm的靶材料（錫液滴）。

視角追隨其中一條光線，忽然向後拉遠，視角範圍內出現數以萬計的紫色細長光線穿過一個又一個圓形長管最後以平均兩次擊中同一靶材料電離錫原子，釋放等離子體，激發納米級光子，完成光刻機的曝光步驟。

視角再向後拉遠，饒是有著先進兩百年的科技技術的系統也不由為這號稱工業皇冠的euv工作時的內部所震撼。

激光經過多重反射鏡均勻化、收集，投影掩膜，擊中靶材料，獲取需求中的等離子體。

接下來是利用收集鏡收集等離子體發散的euv輻射匯聚成光源發送至光刻系統，並經由曝光系統獲取最終的ic晶圓。

但盛明安的團隊沒有做後面的兩步，只設計了光源系統的實驗設計。

一秒鐘五萬次的高頻率，不僅需要確保過程不出錯，還必須保證準度、精確度，可量產，以及功率利用最大化等等……

所以一次的實驗結果不能證明什麽，他們連續實驗多次，記錄數據作比對，計算出一個最優概率。

鍵盤噼裏啪啦的計算，所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜頌的胳膊，齜牙咧嘴：“giao！怎麽樣了？！”

杜頌也疼得齜牙咧嘴，差點猛男落淚：“我不知道。”

助手姑娘又沒想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，內心嗚嗚穿防塵服的盛工就算從頭包到腳還是無比帥氣，所以快點告訴她結果吧！

盛明安：“各組報告結果。”

來了！

眾人振奮！

一組報告：“二氧化碳脈沖激光器無損，功率消耗在預估範圍內，光線利用率成功達到2%！”

二組報告：“散熱系統啟動！散熱功能正常！”

三組報告：“傳感器反饋激光和液滴同步對準，激光等離子體在預估範圍內捕獲！”

四組報告……

隨著一個又一個與仿真預估無二的報告傳入眾人耳中，預示著光源系統設備實驗驗收圓滿完成！

眾人憋著一口氣沒出聲，就等著盛明安總結。

盛明安不負眾望，聽完各組結果報告，對著擴音器宣布：“高階光刻機光源系統技術研究項目圓滿通過驗收，”他稍稍提高音量，“我們的科研項目，激光等離子體極紫外光刻光源是——”

“13.5nm！”

原本想歡呼的眾人臉上剛升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐漸放大，呼吸急促，不敢置信，紛紛以為自己的耳朵壞了，他們出現了幻聽。

盛明安語氣裏流瀉出輕松的笑意：“恭喜大家。”

見眾人沒反應，他回頭，疑惑：“你們不滿意嗎？”

林成建也懵了，小心翼翼地詢問：“盛工，你剛才說13.5nm……不是16nm？”

同盛明安爭論了將近半個月早已震驚過的程院長好笑地環顧眾人表現不一的樣子。

雷客比林成建還小聲輕柔：“比asml euv的14nm還精確了0.5nm？”

杜頌捂著心臟，喃喃說道：“不是吧……我整天研究的就是這麽牛逼的玩意？”

助理姑娘掐得更狠了，但杜頌激動的靈魂和興奮的神經可以撫平身體的疼痛。