第0710章 中國光刻機的希望(第2/2頁)

“什麽是濕式?”

“他說的這個濕式名字叫做浸潤式,與濕式差不多。但用的介質卻不一樣,我們一般現在用的是空氣,而林本艱提成了用水作為浸潤式的介質。”

“水?”

聽到水這個詞,陳宇有些激動。

記得前世,其實在開始之初,荷蘭aslm與德國,與日本幾大光刻機公司實力都差不多。

為什麽後來aslm卻是一統天下,完全與這一些光刻機公司選擇的路線有關。

當時日本,德國,包括美國這一些光刻機公司路線選擇出錯。

而aslm卻是花重金開辟了另一條光刻機生產工藝。

這個工藝,就涉及到水,也就是林本艱現在提到的浸潤式。

“您覺得他的這個工藝有沒有前途?”

陳宇不是很懂技術,但卻知道,這是決定未來光刻機命運的時刻。

在前世2008年之後,全球90%以上生產出來的芯片,用的都是林本艱所提出來的濕式光刻工藝。並且,也正因為林本艱提出了這個濕式工藝,這才將芯片從190納米,一路做到了130納米,90納米,65納米,40納米,28納米,20納米,16納米,10納米,7納米,和5納米。甚至,連最為尖端的3納米,采用的都是林本艱的濕式光刻技術。

“這個,說不準,理論上有可能,但裏面還存在著一系列要解決的問題。比如,水會不會產生汽泡,水會不會汙染設備,要怎麽做防水,水遇熱會膨脹,折射率會改變,這又怎麽解決……”

張如京向陳宇述說著這一個濕式光刻工藝所面對的問題。

只是,這個時候,陳宇的眼睛已經盯緊了林本艱。

他知道。

未來若幹年之後,這一切的問題都不會成為問題。

如果抓住這個林本艱,那麽,中國光刻機就有希望了。